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电控：控制模块部件停产改造
- THC控制系统模组（CPC，NRC）
- DNS用复合机控制系统模组（3600）
- Chiller控制系统模组
刻蚀：Chiller冷冻机系统改造
-老机型冷冻机系统出现冰堵现象，导致控温异常；
半导体：THC冷冻机系统替代改造
- 采用环保制冷剂&变频技术；
液晶面板：软件升级&变频控制系统改造
- 6代线Chiller耗电量大，年度用电消耗量降低20%；
关于我们
ABOUT
甚力电子成立于 2009 年，公司总部位于上海浦东，拥有 3000 平方米的服务维修中心，并在全国设有多个服务网点，旗下设有全资子公司上海甚力通维流体技术有限公司。
作为一家垂直深耕细分领域精密温控的企业，甚力电子致力于为高端制造业提供精密流体和空气温控设备。公司聚焦半导体 IC 制造及液晶面板领域，专注于精密空气温湿度控制装置（THC&STHC）及精密流体温度控制装置（Chiller）的核心技术研发，拥有 15 年以上半导体及液晶面板行业温控技术与服务经验。
公司涉及的温控设备涵盖日本、韩国、国产等知名品牌，覆盖范围如下：
精密空调（THC）领域：Shinwa - rexxam、Asahi - Komatsu、Dakin - 斯频德；
精密液调（Chiller）领域：Shinwa - PTC、SMC - Unisem、ATS - Dakin、京仪 - Maruyama、好利旺 - 赛默飞、affinity；
精密复合机（STHC）领域：Shinwa - DNS、HSBY；
光刻机冷冻系统领域：Nikon、Canon。
地址：上海市浦东新区康桥东路688号6幢6153
总机：4001661341
邮箱：SL@shenl.cn
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